集成電路制造論文_第1頁
已閱讀1頁,還剩7頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領

文檔簡介

1、離子注入摻雜對ZnO薄膜性能的影響TheinfluenceofionimplantationontheZnOthinfilm姓名:郝秀秀西安電子科技大學摘要氧化鋅(ZnO)是一種重要的寬禁帶(室溫下Eg337eV)直接帶隙半導體材料。離子注入是將具有高功能的摻雜離子引入到半導體中的一種工藝其目的是改變半導體的載流子濃度和導電類型.本論文是利用離子注入技術進行摻雜和熱退火處理ZnO薄膜改性。利用溶膠凝膠方法在石英玻璃襯底上制備了ZnO薄膜

2、,將能量56keV、劑量110“cm2的Zn離子注入到薄膜中。離子注入后,薄膜在500~900℃的氬氣中退火,利用X射線衍射譜、光致發(fā)光譜和光吸收譜研究了離子注入和退火對ZnO薄膜結構和光學性質的影響。結果顯示:衍射峰在約700℃退火后得到恢復;當退火溫度小于600℃時,吸收邊隨著退火溫度的提高發(fā)生藍移,超過600℃時,吸收邊隨著退火溫度的提高發(fā)生紅移。關鍵詞:ZnO薄膜;離子注入;退火溫度;吸收;光致發(fā)光。ABSTRACTZincox

3、ide(ZnO)isakindofimptantwidefbiddenb(Egatroomtemperature3.37eV)directbgapsemiconductmaterials.Ionimplantationiswillhavehighfunctionintothedopingisemiconductprocess.Theaimistochangethegecarriersconcentrationsemiconductcon

4、ductivetype.ThepresentpaperisusingionimplantationtechnologythermalannealingprocessingdopedZnOthinfilmmodification.UsingsolgelmethodinquartzglasssubstratesgelpreparationZnOfilmstheenergy56keVdose1X10“cm2ofZnionimplantatio

5、ntofilm.Ionimplantationfilmin500~900℃intheargonannealingXraydiffractionspectrumthelightspectrumlightabsptionspectrumtosendtheionimplantationannealingZnOthinfilmontheinfluenceofthestructureopticalproperties.配位(配位數(shù)為4:4),即鋅

6、離子占據(jù)層與氧離子占據(jù)層交蟄排列,而氧原予(或者鋅原子)可以看成是填塞予半數(shù)鋅原予(或者氧原子)的四面體中心,如圖11所示,從而Zn和。在位置上是等價的,zn原予的3d電子和O原子的2p電子發(fā)生雜化從燕形成共價鍵,實際上,Zn到它最近鄰的遙個O原子(組成四瑟體)之聞的距離(鍵長)并不相等,一般認為,其結合主要是離子鍵結合。纖镩礦結構可以看成是由平行于(0001)面的AB“原子偶層“構成,即一層A原子與一層B原子緊挨著,接著又一層A原子緊

7、挨一層B原子,不斷重復排列下去,這樣有效離子電荷約為112,這樣就產(chǎn)生了一個極性C軸。這樣的e軸是六重對稱軸,也是極性軸,所以具有自發(fā)極化和熱釋電效應【27】;二是閃鋅礦(zincblende)結構,它的晶格能量稍高,只能在立方結構的襯底上生長才能穩(wěn)定形成;三是巖鹽(rocksalt)結構,ZnO只能在高壓條件下形成穩(wěn)定的巖鹽結構,是在ZnO處于大約高壓時發(fā)生固體相變形成這種結構,其空間群為Fm3m。1.2Zn0的制備采用分析純的二水合

8、醋酸鋅作為前驅體,乙二醇甲醚和無水乙醇作為溶劑,乙醇氨作為穩(wěn)定劑。實驗中將一定量的醋酸鋅溶解在乙二醇甲醚和無水乙醇混合溶劑中,加入與醋酸鋅等物質的量的乙醇氨和少量的甲酰氨,經(jīng)充分攪拌后,形成035tool透明均勻的溶液。實驗中以石英玻璃片作為襯底,采用旋轉涂覆技術進行涂膜,先在較低轉速下向襯底滴加溶液,然后在4000r/min的轉速下旋轉30s,形成的濕膜在300℃下預處理15min,然后進行第二次涂膜,反復多次(本實驗采用12層膜)。

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論