半導體電阻率渦流檢測智能儀器的設計與實現(xiàn).pdf

1、半導體技術的發(fā)展，決定了測試技術需要不斷的提高與創(chuàng)新。傳統(tǒng)的四探針法表現(xiàn)出很多不足，這一現(xiàn)實決定了必須尋求其他方法以彌補這些不足。本文對渦流法用于半導體測試方面進行了研究。
　　本次設計采用實驗和計算機數(shù)值模擬相結合的方法，對電渦流傳感器的性能進行了計算機輔助分析。通過研究了激勵頻率，檢測距離以及線圈尺寸等參數(shù)對測量結果的影響，得到了600KHz的激勵頻率，0.05mm的檢測距離，3.3mm的線圈內徑和5mm的外徑等線圈參數(shù)；分析

2、了材料厚度與測量結果的關系，并得到電導率與線圈電壓實部和材料厚度的解析關系。
　　在處理方法上，本文提出了利用電壓有效值直接反映電壓實部變化的思想，替代了傳統(tǒng)的阻抗分析法，并通過實驗驗證了其正確性。
　　最后設計了對渦流線圈電壓處理電路，用單片機PIC16F877A實現(xiàn)對數(shù)據(jù)的處理和顯示。開發(fā)出實驗樣機，利用數(shù)碼管顯示出被測材料的電阻率。通過對不同電阻率的一組Si材料進行了實際測量，表明本次設計得到的實驗樣機，適合厚度為0.