基于平行板法的高溫超導薄膜的表面電阻的測試研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、高溫超導技術由于其優(yōu)越性而越來越得到廣泛的應用。特別是隨著高溫超導薄膜制備技術的不斷提高，使得其在電子信息等領域中的應用前景越來越被人們看好。高溫超導薄膜的微波表面電阻是衡量薄膜質(zhì)量的一個重要參數(shù)指標。因此，用什么方法去測量高溫超導薄膜的微波表面電阻就顯得尤為重要。目前，世界上很多國家都在進行這方面的研究。 本文詳細介紹了用平行極法測量高溫超導薄膜表面電阻的原理，建立了測試腔的模型，并對該模型進行仿真和分析。其中分別對空腔和加入

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