電沉積磁性合金薄膜材料的制備、結(jié)構(gòu)與性能研究.pdf

1、鋼鐵研究總院博士學(xué)位論文電沉積磁性合金薄膜材料的制備、結(jié)構(gòu)與性能研究姓名：劉天成申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：博士專(zhuān)業(yè)：材料學(xué)指導(dǎo)教師：盧志超李德仁20070601鋼鐵研究總院博士學(xué)位論文2、系統(tǒng)研究了真空熱處理溫度對(duì)Ni44Fe56合金薄膜材料的微結(jié)構(gòu)和磁性能的影響，發(fā)現(xiàn)熱處理有利于薄膜中殘余應(yīng)力的釋放，并且晶粒隨熱處理溫度的升高而長(zhǎng)大，在300～350。C區(qū)間內(nèi)，晶粒尺寸存在一個(gè)突變。通過(guò)測(cè)量熱處理后的薄膜樣品的磁性能，發(fā)現(xiàn)低于300℃熱處理可以改

2、善薄膜的軟磁性能，這主要與薄膜內(nèi)應(yīng)力降低和擇優(yōu)取向有關(guān)。3、在上述基礎(chǔ)上，對(duì)不同方向、不同強(qiáng)度穩(wěn)恒磁場(chǎng)下的NiFe合金電沉積進(jìn)行了系統(tǒng)研究。通過(guò)改變外加磁場(chǎng)的方向，發(fā)現(xiàn)Ni—Fe電沉積過(guò)程中施加垂直磁場(chǎng)對(duì)薄膜的組成和性能的影響較大。通過(guò)改變電沉積過(guò)程中垂直磁場(chǎng)的強(qiáng)度，發(fā)現(xiàn)磁場(chǎng)強(qiáng)度增加可以明顯提高Ni—Fe合金薄膜中的Fe含量、晶體的(111)面的擇優(yōu)取向。通過(guò)測(cè)量不同磁場(chǎng)條件下沉積的合金薄膜的磁滯回線(xiàn)，可以改善或定制不同磁性能的合金薄膜