適用于長光柵刻制的二維超大行程氣浮工作臺結構設計.pdf

1、隨著計算機技術和微電子技術的發(fā)展，計量光柵作為一種高精度的檢測元件，已占中高檔測量系統的80％以上。然而由于硬件條件的限制、建立超精密制造環(huán)境的技術不成熟、條紋信號質量不高等原因，我國高線數大長度光柵刻制技術的研究仍主要體現在理論研究和關鍵技術的攻關層面上。
　　 基于氣浮支承和直線電機直接驅動技術的精密長行程氣浮定位工作臺是精密機械中的一種典型結構，它為光刻技術、數控加工領域提供一個能夠實現精密定位和精確運動的載物平臺。精密直

2、線氣浮工作臺的設計中，承載能力和剛度是重要的性能指標，它們決定著氣浮工作臺能否正常、平穩(wěn)地工作。而在實際生產應用中，耗氣量的大小直接關系著企業(yè)在生產過程中的成本控制。
　　 本課題與廣州諾信數字測控設備有限公司的超大行程長光柵刻劃平臺計劃相結合，針對工程應用的要求，以超大行程精密二維氣浮定位工作臺為研究對象，圍繞氣浮支承技術的承載力和耗氣量，開展定位工作臺的結構設計、流場特性、壓力場特性等方面的研究，設計出適用于實際生產應用的高

3、線數大長度光柵刻制的大行程精密機械系統。主要研究內容如下:
　　 (1)采用經典氣浮潤滑理論，對氣浮工作臺的承載能力和耗氣量進行了工程解析算法的推導，搭建靜壓氣浮導軌承載性能測試系統，并建立相應的有限元模型，對比分析實驗測試、數值算法、解析算法的結果。
　　 (2)在理論分析的基礎上，根據長光柵刻劃的要求，對二維氣浮工作臺各零部件的材料、靜壓氣浮導軌的結構形式、結合面的結構形式進行了設計分析，進行了整機結構的方案設計和三