基于蝕刻技術的核孔膜生產(chǎn)檢測.pdf

1、核孔膜是一種利用核物理技術制備的新型微孔材料，這種材料不但微孔接近于直孔，同時還具有可以自由控制需要的孔徑大小等特性，目前正逐漸應用于高端領域的微孔材料。隨著核孔膜制備技術的不斷進步，核孔膜的應用向更高更廣的方向發(fā)展，為了滿足核孔膜的大規(guī)模生產(chǎn)，在核孔膜成型的關鍵工序蝕刻工序中，就需要有一套全面的核孔膜在線檢測系統(tǒng)保證核孔膜的質(zhì)量。
　　本文通過對核孔膜的制備理論和實際制備手段的研究，確定了核孔膜蝕刻工藝中需要檢測的關鍵參數(shù)以及參

2、數(shù)所需要的精度。通過對前人檢測方法的研究，針對這些參數(shù)，提出了整合數(shù)字圖像處理技術，紫外線光譜技術和a粒子檢測技術的核孔膜檢測技術，獨創(chuàng)性的設計了一套綜合性的核孔膜在線檢測系統(tǒng)。
　　基于數(shù)字圖像處理技術，對核孔膜圖片進行濾波、銳化、二值化、形態(tài)學處理的圖像預處理。區(qū)別于前人對于數(shù)字圖像處理技術在核孔膜的檢測應用，避開容易造成誤差的通孔孔徑測量，改為對核孔膜密度和核孔膜損傷孔徑的檢測?；谧贤饩€光譜檢測技術，利用紫外線無法透過核孔

3、膜的特性對核孔膜孔隙率進行檢測。在確定了有效的紫外線波長后，本文提出了一種新的檢測方法—雙固定波長紫外線檢測法。這種方法不但可以對核孔膜實現(xiàn)在線檢測同時具有較高檢測精度，使用這種方法得到相應孔隙率后再利用公式就能得到通孔孔徑值，核孔膜錐度值?；赼粒子檢測技術，解決納米級精度的核孔膜檢測問題。本文對a粒子檢測設備進行了深入研究，采用了減少誤差的改進措施。通過對設備的改進，實現(xiàn)了對于核孔膜通孔孔徑和厚度的高精度檢測。
　　基于本文設